Zawory próżniowe mają wiele zastosowań w systemach próżniowych, w tym głównie następujące aspekty:
- Przełącz ścieżkę gazową: Może zmienić drogę przepływu przepływu powietrza i zrealizować kontrolę nad wyłączeniem różnych rurociągów w układzie próżniowym. Na przykład w urządzeniach do powlekania próżniowego, kontrolując otwieranie i zamknięcie zaworu próżniowego, komora powłoką może być podłączona lub odłączona różnymi rurociągami, takimi jak pompy próżniowe i systemy inflacji, aby zaspokoić potrzeby różnych etapów procesu powlekania.
- Kontroluj rozmiar przepływu powietrza: regulacyjny zawór próżniowy może kontrolować kąt otworu pokrywy zaworu, regulując w ten sposób rozmiar przepływu powietrza przepływającego przez rurociąg, a następnie kontrolując stopień próżni w pojemniku. Na przykład w niektórych eksperymentach lub procesach produkcyjnych wymagających precyzyjnej kontroli stopnia próżniowego, dostosowując otwieranie zaworu próżniowego, stopień próżni w systemie może być utrzymywany w wymaganym zakresie.
- Inflacja ilościowa: Niektóre zawory próżniowe mogą zrealizować funkcję inflacji ilościowej. Na przykład, jeśli istnieje mały otwór o określonej objętości na tłonie zaworu szklanego, gdy mały otwór jest podłączony do cylindra gazowego pod wysokim ciśnieniem, można go wypełnić gazem wysokociśnieniowym. Gdy jest podłączony do pojemnika próżniowego, objętość gazu wysokociśnieniowego jest wkładana do pojemnika, uświadamiając sobie w ten sposób inflację ilościową.
- System izolacji: może izolować dwie ścieżki przepływu, utrzymać ciśnienie systemu i zmniejszyć utratę przepływu. W systemie próżniowym, gdy część musi zostać naprawiona, wymieniona lub inne operacje są wykonywane w określonej części, odpowiedni zawór próżniowy może być zamknięty w celu izolacji części z reszty systemu, aby zapobiec wyciekom gazu lub zmianom ciśnienia wpływającym na normalne działanie innych części.
- Chroń pompę próżniową: zainstalowany na wlotie powietrza pompy próżniowej, aby zapobiec zwróceniu oleju mechanicznej pompy próżniowej. Gdy ciśnienie w układzie próżniowym zmienia się nieprawidłowo, zawór próżniowy może zostać zamknięty w czasie, aby zapobiec wciągnięciu oleju do układu próżniowego i ochrony pompy próżniowej i innego sprzętu przed uszkodzeniem.
- Obiekty transferowe: W wielokamerowym systemie próżniowym zawór transferowy może być używany do przenoszenia obiektów (takich jak płytki) z jednej komory do drugiej, szczególnie między komorą transferową a komorą procesową, i jest idealnym wyborem dla systemów wielokamerowych.