Zawór bramki próżniowej jest specjalnym zaworem bramkowym specjalnie stosowanym w systemach próżniowych lub podciśnienia. Jego podstawowa konstrukcja obraca się wokół ultra-wysokiego uszczelnienia i niskiej szybkości Outgassing. Zasada i cechy pracy są następujące:
1. Definicja podstawowa
Funkcjonalne pozycjonowanie
Jest stosowany w ultra-wysokim czystym środowisku o stopniu próżniowym mniejszym lub równym 1 × 10⁻⁶ PA, aby zapobiec penetracji gazu zewnętrznego lub wewnętrznego przedgasowania i zanieczyszczenia wnęki próżniowej.
SEALING Standard
Szybkość upływu jest ściśle kontrolowana przy mniejszej lub równej 1 × 10⁻¹⁰ PA · M³/s (standard wykrywania wycieków helu), który jest znacznie wyższy niż zwykłe zawory przemysłowe.
2. Kluczowe cechy strukturalne
System
Przyjmij dynamiczne uszczelnienie mieszka w całości metal (wymień tradycyjne pudełko na farsz), aby wyeliminować mikroprzepuszek spowodowany ruchem trzonu zaworu.
Staxa kontaktowa między bramą a siedziskiem zaworu jest wypolerowana lustrem (Ra mniejsza lub równa 0,2 μm), a do osiągnięcia wiązania na poziomie molekularnym stosuje się pierścień uszczelniający stop ze stopu złota.
Material Selection
Korpus zaworu jest wykonany z 316L ultra-niskiego węgla ze stali nierdzewnej, a powierzchnia jest zmniejszona przez elektrolityczne polerowanie (redukując adsorpcję gazu).
Mieszki są wykonane z Hastelloya C-276 i mogą wytrzymać większe lub równe 100 000 naprzemiennych obciążeń próżniowo-atmosferycznych.
Specjalny projekt
Wnęka zaworu jest wyposażona w pomocniczy port wydechowy (interfejs kołnierza KF16) w celu wstępnego ewakuacji i zrównoważenia różnicy ciśnienia przed otwarciem i zamknięciem.
Typ niskotemperatury jest wyposażony w ciekłą płaszcz chłodzącej azot, aby zapobiec spuszczaniu wysokiej temperatury.
3. Tryb pracy
Processing Process
Najpierw rozpocznij pomocniczą pompę próżniową, aby ewakuować jamę zaworu na tym samym poziomie próżni co system (w celu zapobiegania zaburzeniu przepływu powietrza).
Mieszki napędzają bramę, aby wznieść się pionowo, a współczynnik przewodności przepływu jest większy lub równy 0,95, gdy kanał przepływu jest w pełni otwarty.
Process Process
Gdy brama spadnie, przełącznik graniczny jest automatycznie wyzwalany, a wtórny wydech jest wyczerpany wyczerpany gaz w jamie zaworu.
Sieć uszczelniająca stykalna wytwarza efekt samoosiągania pod podciśnieniem układu. Im większa różnica ciśnienia, tym mocniej uszczelka.
4. Typowe scenariusze aplikacji
Ucieczka badawcza
Segmentowa izolacja rurociągów próżniowych akceleratora cząstek (takich jak Europejska Organizacja Badań Nuklearnych LHC). Undulator zawór ochrony próżniowej dla źródła promieniowania synchrotronowego.
Sprzęt przemysłowy
Kontrola wtrysku komory reakcyjnej dla półprzewodnika ALD.
Awaryjna zawór izolacyjny dla komory testowej próżniowej statku kosmicznego.
Specjalne pole
Izolacja próżni pierwszego układu chłodzenia ściany urządzenia fuzyjnego jądrowego (takiego jak ITER).
Uszczelnienie kanału transferowego próbki komory symulacji pyłu księżycowego.
5. Wskaźniki wydajności
Zakres temperatury: -196 stopni (chłodzenie ciekłego azotu) do 450 stopni (typ pieczenia w wysokiej temperaturze).
Diameter Zakres : mikro zawór DN10 do dużej komory blokady próżniowej DN800.
Tryb obsługi : Ręczny napęd na robak, pneumatyczne szybkie otwarcie (czas odpowiedzi<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. Punkty konserwacji
Wykrywanie wycieków spektrometrii masowej helu jest wymagane po każdej 1000 operacji, a zespół mieszania należy wymienić, jeśli szybkość wycieku przekroczy standard.
Kontrola uszczelniająca musi być ponownie wypolerowana co 5 lat, aby przywrócić wykończenie powierzchni.
Nieprzednio jest stosowanie acetonu i innych substancji organicznych do czyszczenia. Zaleca się czyszczenie na sucho w osoczu.